? 應用特點：

? 采用“直線電機+導軌”的方式，結合光柵尺反饋，作全閉環(huán)控制的雙軸亞微米級平臺；

? 模塊化的結構設計，整體線路集成化；

? 更好的速度穩(wěn)定性；

? 更高的精度；