技術(shù)參數(shù)

? 產(chǎn)品特性：

u 高動(dòng)態(tài)響應(yīng)、非接觸直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)

u 高精度的線性光學(xué)編碼器反饋

u 高剛度、高精度導(dǎo)軌設(shè)計(jì)

u 優(yōu)異的定位精度和重復(fù)性表現(xiàn)

? 應(yīng)用特點(diǎn)：

交叉十字XY臺(tái)采用集成式、正交性設(shè)計(jì)理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實(shí)現(xiàn)水平向X/Y軸2自由度的高精度、高剛度直線運(yùn)動(dòng)?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、光纖對(duì)準(zhǔn)、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。